Establishing an accurate depth-scale calibration in the top few nanometers of an ultrashallow implant profile

M. G. Dowsett, S. H. Al-Harthi, T. J. Ormsby, B. Guzmán, F. S. Gard, T. C.Q. Noakes, P. Bailey, C. F. McConville*

*المؤلف المقابل لهذا العمل

نتاج البحث: المساهمة في مجلةمقالمراجعة النظراء

6 الاقتباسات (SciVal)

بصمة

أدرس بدقة موضوعات البحث “Establishing an accurate depth-scale calibration in the top few nanometers of an ultrashallow implant profile'. فهما يشكلان معًا بصمة فريدة.

Physics

Agricultural and Biological Sciences